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对微光机电系统(MOEMS)兴趣的惊人增长吸引了包括众多研发中心和工业企业的投入。大量的MOEMS应用领域为之发展提供巨大机遇,如光......
自锁型2×2和1×4光开关是在{10}硅基片上采用各向异性湿刻蚀工艺技术在KOH中制备的微机械光开关。这种制各方法可以低成本一次投......
MOEMS扫描光栅微镜是光谱检测分析装备的新一代核心分光器件，它具有分光与扫描功能、体积小、成本低、能单管探测器替代阵列探测器......
随着光网络带宽的不断增长，以DWDM为代表的全光网技术快速发展，每根光纤可以进行从几百到上千波长的传输，每个波长可承载10Gbit/s以上......
快速发展的光通信技术促使全光通信网络浮出水面,全光网络的发展依赖于光开关技术的进步。过去几年间,各种各样的技术被用于光开关......
研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得出螺旋形线圈在相同电流......
谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件,由于谐振腔具有相对失调特性,所以传统的调腔是以人工方式进行的.研究并提出了一种新型的可应用于微......
利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在50V的调谐电压下,调谐范围为90nm.该技术可以用于制作1......
针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角......
研制了一种用于 WDM光通信系统的多层介质膜 Fabry- Perot腔结构式光开关 ,面积为 1.5 m m× 1.5 m m.光开关采用多层复合膜消除内......
